技術(shù)方案書
一、技術(shù)指標(biāo)：
（一）整機技術(shù)指標(biāo)
1、溫度重復(fù)性：≤±2℃
2、加熱區(qū)等溫段長度：300mm
3、等溫區(qū)溫度均勻度：≤±2℃
4、設(shè)定溫度：1400℃
5、工藝溫度：400℃-1300℃
6、爐管直徑長度：φ60*1000mm， 80*1000mm
7、工作室材料:高純石英管
8、控溫方式：可控硅移相調(diào)壓+智能PID調(diào)節(jié)+程序升降溫
9、預(yù)計空載升溫時間：30分鐘
10、預(yù)計空載降溫時間：40分鐘
11、供電方式：220,單相 50/60Hz
（二）石英器件技術(shù)指標(biāo)
1、內(nèi)壁波紋高度0.2mm，壁厚5mm；
2、整體應(yīng)力，長期使用溫度1300℃；
3、管壁均勻一致，表面及內(nèi)部不得有劃痕、氣泡等缺陷；
4、純度99.99%以上，雜質(zhì)含量（Al、Fe、Mg、Cu、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B等十三個雜質(zhì)元素的總含量≤50×10-6，其中：Fe≤3×10-6　Cu≤0.8×10-6　Na≤2×10-6　K≤2×10-6　Li≤2×10-6　B≤0.3×10-6；
5、羥基含量≤220×10-6；
6、熱穩(wěn)定性：在1000℃下恒溫15分鐘，置于205℃水中急冷，不出現(xiàn)裂紋、缺口。
7、析晶性能：在100010℃下恒溫6小時，析晶層平均厚度不大于100m。
二、設(shè)備結(jié)構(gòu)
真空燒結(jié)爐主要由石英工作室、設(shè)備機架、功率變壓器、功率調(diào)節(jié)部件、冷卻系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)組成。
1、爐體：結(jié)構(gòu)由爐絲、絕緣子、保溫棉、外殼、把口環(huán)、等構(gòu)成。爐體恒溫區(qū)300mm，總長1000mm,石英管加熱全在加熱爐膛中，石英管徑Ф60mm/80mm。采用超溫保護，從而確保恒溫區(qū)內(nèi)溫度的精度，以及爐體使用的安全。
2、加熱原件：發(fā)熱均勻，加熱穩(wěn)定，壽命長，采用高純度硅碳棒材料，可多年長期工作在1300℃的高溫，加熱爐硅碳棒采用U型結(jié)構(gòu)，方便后期維護及維修。
3、絕緣子：絕緣子的功能是，一方面要保證爐絲匝間間距的均勻性，因為它直接影響恒溫區(qū)參數(shù)。另一方面爐絲需要靠絕緣子支撐，以保證高溫使用情況下不下塌。為了保證在有限長度的爐體上獲得更長的恒溫區(qū)，采用多種間距的絕緣子（理論依據(jù)：單段加熱爐體溫度在爐體長度上呈正態(tài)分布，多段加熱爐體內(nèi)溫度可以使用迭加原理計算）。
4、保溫材料：保溫材料的材質(zhì)和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個極其重要的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)爐體的具體使用要求來進行設(shè)計和計算。選擇英國摩根公司含鋯塞拉纖維針刺毯。
5、外殼：選用304不銹鋼磨砂板，。
6、石英爐膛：具有極高純度和抗高溫性能的融凝管，能保證加工過程人員能更好地把握較高的效果和較大器件負(fù)荷量之間的平衡，以期達到高溫狀態(tài)下的優(yōu)質(zhì)性能，要求高純，純度大于99.99%，厚度5mm,詳見石英管，具體指標(biāo)如下圖：

安徽廣樹半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
總經(jīng)理王遠
電話18121139525